某半导体器件生产厂家因晶圆除污流程行成含氨废水操作,蓄水量200吨/天。废水操作中除氧化还原电位外还包含氟化物和微量分析高价属,操作等级大。当地的减排规则条件氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 组成成分及来源于
晶圆清洁废水处理(重要来源地):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀流程生产废水:含进样器铜、镍等巨资属,pH值波动性大
CMP磨研污废水 :含硅粒子及挥发酚
进行处理加工程序流程
所采用"化学物质乳浊液+膜脱离+折点氯化"乐队组合加工:
预加工处理
:污泥脱水CaCl2除氟,把控好pH在7.5-8.
超滤膜机系统
:避开0.01μm综上所述颗粒肥料物
反浸入提液
:将挥发酚浓缩液至1000mg/L以下
折点氯化
:精确性把控好氯污泥脱水量,将氯离子和转化了为惰性气体
铝离子交流
:有效保障了高价属标准
决定性体验
挥发酚安稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含碳量不超的检测限
水中水回用率达75%
生活污水呈现量可以减少40%