该例案来于华中地方1家巨型半导体技术造成公司商家,核心工作加工模块化电路系统IC芯片。在工作加工的过程中,晶圆刷洗、蚀刻等制作工艺需动用过量手机级磷酸(色度≥85%),从此带来高酸度含磷废液。公司商家和原有处理配制是没办法拥有越来越严厉的产生标准(TP≤0.5mg/L),急要升到创新。
焦化废水基本成分及的来源
废渣首要渠道于三方面:晶圆擦洗废渣(占总需水量60%)、机器设备擦洗废渣(30%)及及地表擦洗废渣(10%)。水质标准特色行为 为:pH值1.5-2.5,总磷密度800-1200mg/L,氟正离子含磷量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并富含轻微天价属(铜、锌等)。
净化处理技术操作流程
的项目用于"预整理+药剂学沉积+高等 脱色+深度1滤过"的搭配组合艺:
自动调节池
:多样化水污染蓄水量,下设pH在线播放监测系统化系统化
一級发应池
:加药系统石灰石乳设定pH至8.5-9.0,建成Ca3(PO4)2结晶
一级表现池
:修改PAC和PAM加强斜管沉淀池作用
斜板滤渣池
:保持固液提取,废水打开脱水器体统
Fenton腐蚀单元式
:H2O2与Fe²⁺推进用降解塑料生产物
多材质过滤系统器
:熔融石英砂+抗逆性炭组和进行过滤,狠抓有水出清澈见底
正离子交換控制系统
:进一大步去掉残渣金属材质铁离子
最终能够功能
模式自动作业稳定的后,水流水的质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,几项指标图相对比较《光学化工水被大气污染物释放规范标准》(GB 39731-2020)。每一年的少磷释放约15吨,污泥干化带来量较传统艺术新工艺较低40%,自动作业投资成本控住在8.十元/吨水。